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ロボット

半導体ウエハ･有機ELガラス搬送

SEMISTARシリーズのクリーンロボットは，高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速･高精度搬送，移載作業が可能。真空対応ロボットは，高真空中で大形サイズの有機ELガラス･パネル搬送が可能。リニア走行軸やプリアライナ，ロードポート，ウエハソータ，EFEMなども準備しています。

適用ロボット

クリーンロボット SEMISTAR-Mシリーズ

M101

3軸水平多関節：SEMISTAR-M101

単腕形，可搬質量：1kg

M201

4軸水平多関節：SEMISTAR-M201

双腕形，可搬質量：1kg/アーム

M112

4軸水平多関節：SEMISTAR-M112

単腕（1ブレード），可搬質量：1kg

M122

5軸水平多関節：SEMISTAR-M122

単腕（2ブレード），可搬質量：1kg/アーム

真空対応ロボット SEMISTAR-Vシリーズ

V10S

3軸水平多関節：SEMISTAR-V10S

単腕形，可搬質量：10kg

V20D

4軸水平多関節：SEMISTAR-V20D

双腕形，可搬質量：20kg/アーム

V65S

3軸水平多関節：SEMISTAR-V65S

単腕形，可搬質量：65kg

半導体製造システム用の関連機器

TLシリーズ

クリーンロボット用走行軸：TLシリーズ

可搬質量：45kg，動作範囲：1010/1515mm

PV11

1軸プリアライナ：PV11

ウエハ把持：真空吸着方式

PV32

3軸プリアライナ：PV32

ウエハ把持：真空吸着方式

PE11

エッジグリップ式プリアライナ：PE11

ウエハ把持：エッジグリップ方式

EFEM

フロントエンドモジュール（EFEM）

300mmウエハ対応

ウエハソータ

ウエハソータ

300mmウエハ対応

高性能ロードポート

高性能ロードポート

FOUPウエハ数：25枚

反転軸付きロードポート

反転軸付きロードポート

FOUPウエハ数：25枚

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