ロボット
SEMISTARシリーズのクリーンロボットは,高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速・高精度搬送,移載作業が可能。真空対応ロボットは,高真空中で大形サイズの有機ELガラス・パネル搬送が可能。リニア走行軸やプリアライナ,ロードポート,ウエハソータ,EFEMなども準備しています。
適用事例・機種構成
適用事例及び構成例
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300mmウエハの搬送事例 双腕クリーンロボット(SEMISTAR-M201) |
装置内での300mmウエハの搬送事例 双腕クリーンロボット(SEMISTAR-M201)と エッジグリップ式プリアライナ |
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300mmウエハの搬送事例(3FOUP対応) 単腕2リンク2ブレードロングリーチクリーンロボット (SEMISTAR-Mシリーズ) |
有機ELガラス基板の高速搬送事例 双腕形真空対応ロボット(SEMISTAR-V20D) |
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| ウエハ洗浄装置/CMP装置の構成事例 |
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| ウエハ洗浄装置での搬送システム構成事例 |
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| CVD/イオン注入装置の構成事例 |
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| CVD装置での搬送システム構成事例 |
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ウエハソーティング装置の構成事例 |
ウエハソーティング装置での搬送システム構成事例 |
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| レーザマーキング装置の構成事例 | レーザマーキング装置での搬送システム構成事例 |
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ストッカ対応ウエハソータの構成事例 ウエハソータ(反転軸付きロードポート)XU-ST320P事例 |
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有機ELガラス基板搬送システム(クラスタツール)構成事例 真空対応ロボット SEMISTAR-Vシリーズ |

