e-mechatronics.com

e-mechatronics.com(愛称『e-メカサイト』)は、安川電機の製品・技術情報サイトです

  • YASKAWA
e-メカサイトは、Web標準に準拠されたブラウザ(InteretExplorer6以上)でぜひご覧下さいますようお願いします。

ロボット

クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズは,単腕及び双腕タイプを揃えており,高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速・高精度搬送,移載作業ができます。また,真空対応ロボットSEMISTAR-Vシリーズも,単腕,双腕タイプを揃え,可搬質量は最大で75kgまで対応でき,高真空中で大形サイズの有機ELガラスやマスク,液晶ガラス,太陽電池用ガラス基板などの搬送が可能です。この他,リニア走行軸やプリアライナ,ロードポート,ウエハソータ,EFEMなども取り揃えています。



適用事例・機種構成

 適用事例及び構成例
300mmウエハの搬送事例
装置内での300mmウエハの搬送事例
300mmウエハの搬送事例
双腕クリーンロボット(SEMISTAR-M201)
装置内での300mmウエハの搬送事例
双腕クリーンロボット(SEMISTAR-M201)と
エッジグリップ式プリアライナ

300mmウエハの搬送事例(3FOUP対応)
有機ELガラス基板の高速搬送事例
300mmウエハの搬送事例(3FOUP対応)
単腕2リンク2ブレードロングリーチクリーンロボット
(SEMISTAR-Mシリーズ)
有機ELガラス基板の高速搬送事例
双腕形真空対応ロボット(SEMISTAR-V20D)



ウエハ洗浄装置/CMP装置の構成事例

ウエハ洗浄装置/CMP装置の構成事例



ウエハ洗浄装置での搬送システム構成事例

ウエハ洗浄装置での搬送システム構成事例



CVD/イオン注入装置の構成事例

CVD/イオン注入装置の構成事例



CVD装置での搬送システム構成事例

CVD装置での搬送システム構成事例



ウエハソーティング装置の構成事例

ウエハソーティング装置での搬送システム構成事例

ウエハソーティング装置の構成事例

ウエハソーティング装置での搬送システム構成事例




レーザマーキング装置の構成事例

レーザマーキング装置での搬送システム構成事例

レーザマーキング装置の構成事例 レーザマーキング装置での搬送システム構成事例



ストッカ対応ウエハソータの構成事例 ウエハソータ(反転軸付きロードポート)XU-ST320P事例

ストッカ対応ウエハソータの構成事例
ウエハソータ(反転軸付きロードポート)XU-ST320P事例




有機ELガラス基板搬送システム(クラスタツール)構成事例

ガラス基板搬送システム(クラスタツール)構成事例
有機EL・液晶・太陽電池用ガラス基板搬送
真空対応ロボット SEMISTAR-Vシリーズ




Copyright(C)2001-2009 YASKAWA ELECTRIC CORPORATION. All Rights Reserved.