ロボット
SEMISTARシリーズのクリーンロボットは，高クリーン域でウエハサイズ300mmの高速･高精度搬送，移載作業が可能。真空対応ロボットは，高真空中で大形サイズの有機ELガラス･パネル搬送が可能。リニア走行軸やプリアライナ，ロードポート，ウエハソータ，EFEMなども準備しています。
適用事例･機種構成
適用事例及び構成例
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300mmウエハの搬送事例 双腕クリーンロボット（SEMISTAR-M201） |
装置内での300mmウエハの搬送事例 双腕クリーンロボット（SEMISTAR-M201）と エッジグリップ式プリアライナ |
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300mmウエハの搬送事例（3FOUP対応） 単腕2リンク2ブレードロングリーチクリーンロボット （SEMISTAR-Mシリーズ） |
有機ELガラス基板の高速搬送事例 双腕形真空対応ロボット（SEMISTAR-V20D） |
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| ウエハ洗浄装置/CMP装置の構成事例 |
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| ウエハ洗浄装置での搬送システム構成事例 |
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| CVD/イオン注入装置の構成事例 |
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| CVD装置での搬送システム構成事例 |
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ウエハソーティング装置の構成事例 |
ウエハソーティング装置での搬送システム構成事例 |
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| レーザマーキング装置の構成事例 | レーザマーキング装置での搬送システム構成事例 |
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ストッカ対応ウエハソータの構成事例 ウエハソータ（反転軸付きロードポート）XU-ST320P事例 |
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有機ELガラス基板搬送システム（クラスタツール）構成事例 真空対応ロボット SEMISTAR-Vシリーズ |
