半導体ウエハ搬送用クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズ

  • SEMISTAR-M101

    SEMISTAR-M101

    3軸水平多関節 単腕形

    対応ウエハサイズ:200 mm/300 mm

    対応FOUP数:4 FOUP

  • SEMISTAR-M201

    SEMISTAR-M201

    4軸水平多関節 双腕形

    対応ウエハサイズ:200 mm/300 mm

    対応FOUP数:4 FOUP


  • SEMISTAR-M112

    SEMISTAR-M112

    4軸水平多関節 単腕形 (1ブレード)

    対応ウエハサイズ:200 mm/300 mm

    対応FOUP数:2 FOUP

  • SEMISTAR-M122

    SEMISTAR-M122

    5軸水平多関節 単腕形 (2ブレード)

    対応ウエハサイズ:200 mm/300 mm

    対応FOUP数:2 FOUP


  • SEMISTAR-M124

    SEMISTAR-M124

    5軸水平多関節 単腕形

    対応ウエハサイズ:
    200 mm/300 mm/450 mm

    対応FOUP数:4 FOUP

  • SEMISTAR-MR124

    SEMISTAR-MR124

    5軸水平多関節 単腕形

    対応ウエハサイズ:300 mm/450 mm

    対応FOUP数:4 FOUP


  • 走行軸搭載時