ロボット
FPDガラス基板搬送用のクリーンロボットは,垂直多関節形のMOTOMAN-CRシリーズ,水平多関節形のCSL/CSPシリーズ,水平多関節形で上下直動タイプのECHシリーズ,ダブルリンク式機構支柱のCDLシリーズで構成しています。高速・高精度搬送のほか,CDLシリーズは第10世代の超大形液晶ガラス基板搬送が可能,基板アライメントやレベル調整の付帯設備削減が可能です。また,超大形ガラス基板搬送用コンベアの搭載・旋回が可能なクリーン仕様ターンテーブルも製品化し,小形から超大形サイズの液晶ガラス基板搬送,生産性向上に対応できます。
専用ツール
液晶ガラス・パネル搬送用途での主な専用ツールは,ワークハンドリング部におけるエンドエフェクタ(ハンド)と,ロボット(マニピュレータ)を載せて移動させる走行台車などが該当します。これらはお客様のご要望によって適用方法や手段,場所,システム構成など多種多様で多岐に渡ります。
また,多くの技術的ノウハウやお客様における液晶ディスプレイ製造ノウハウが存在しますので,特に,専用ツールとしての内容紹介は省略させていただきますが,一部クリーン仕様のポジショナ(ターンテーブル)MOTOPOSの2機種について紹介いたします。その他「適用ロボット」及び「適用事例」等での写真事例をご参照して下さい。
お客様で必要とする個別・固有のツール等についてのお問い合わせは,当社代理店または営業部門にお尋ねください。
また,多くの技術的ノウハウやお客様における液晶ディスプレイ製造ノウハウが存在しますので,特に,専用ツールとしての内容紹介は省略させていただきますが,一部クリーン仕様のポジショナ(ターンテーブル)MOTOPOSの2機種について紹介いたします。その他「適用ロボット」及び「適用事例」等での写真事例をご参照して下さい。
お客様で必要とする個別・固有のツール等についてのお問い合わせは,当社代理店または営業部門にお尋ねください。
その他 ポジショナ
- クリーン仕様ターンテーブル「MOTOPOS-T2000B-C00」(標準)
-
- 1軸:回転
- 搭載質量 :2000㎏

クリーンルーム内で使用できるターンテーブルです。第10世代サイズ(一辺が約3m)の超大形液晶ガラス基板搬送コンベアを搭載し,高速・高精度で旋回させることが可能です。ガラス基板の旋回や流し方向の切換えなど,フレキシブルなガラス基板搬送コンベアラインの構築に有効です。 - 最大可搬質量2000kgと高負荷容量で,最大回転速度1.40rad/s(80°/s),繰り返し位置決め精度±0.3mm(半径1000mmの位置)と高速・高精度
- クリーン環境維持用にターンテーブル機内の吸引口付き
- 回転テーブル中心が中空で貫通し,ジグ用ケーブルやホース類の処理が容易
仕様名称 MOTOPOS-T2000B-C00 搭載質量 2000kg タイプ 標準(1軸) 形式 YR-MPT2000B-C00 回転角度 0~270° 最大回転速度 1.40rad/s(80°/s) 許容モーメント 6125N・m 許容慣性モーメント(GD2/4) 1800kg・m2 繰り返し精度 ±0.3mm(R=1000mmの位置) 設置方向 床置き 適用コントローラ NX100 概略質量 450kg クリーン度 ISOクラス5 機内I/O配線 なし 機内エア配管 なし 電源容量 2.5kVA - クリーン仕様ターンテーブル「MOTOPOS-T5000B-C00」(標準)
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- 1軸:回転
- 搭載質量 :5000㎏

クリーンルーム内で使用できる高負荷タイプのターンテーブルです。昇降装置を搭載して第10世代サイズ(一辺が約3m)の超大形液晶ガラス基板搬送コンベアを高速・高精度で旋回,昇降させることが可能です。
ガラス基板の旋回や流し方向の切換え,さらには多段搬送コンベアへの移送など,フレキシブルなガラス基板搬送コンベアラインの構築に有効です。- 最大可搬質量5000kgの高負荷タイプで,最大回転速度0.7rad/s(40°/s),繰り返し位置決め精度±0.3mm(半径1000mmの位置)と高速・高精度
- クリーン環境維持用にターンテーブル機内の吸引口付き
- 回転テーブル中心が中空で貫通し,ジグ用ケーブルやホース類の処理が容易
仕様名称 MOTOPOS-T5000B-C00 搭載質量 5000kg タイプ 標準(1軸) 形式 YR-MPT5000B-C00 回転角度 0~270° 最大回転速度 0.7 rad/s(40°/s) 許容モーメント 9800N・m 許容慣性モーメント(GD2/4) 10000kg・m2 繰り返し精度 ±0.3mm(R=1000mmの位置) 設置方向 床置き 適用コントローラ NX100 概略質量 950kg クリーン度 ISOクラス5 機内I/O配線 なし 機内エア配管 なし 電源容量 17kVA


