ロボット
FPDガラス基板搬送用のクリーンロボットは，垂直多関節形のMOTOMAN-CRシリーズ，水平多関節形のCSL/CSPシリーズ，水平多関節形で上下直動タイプのECHシリーズ，ダブルリンク式機構支柱のCDLシリーズで構成しています。高速･高精度搬送のほか，CDLシリーズは第10世代の超大形液晶ガラス基板搬送が可能，基板アライメントやレベル調整の付帯設備削減が可能です。また，超大形ガラス基板搬送用コンベアの搭載･旋回が可能なクリーン仕様ターンテーブルも製品化し，小形から超大形サイズの液晶ガラス基板搬送，生産性向上に対応できます。
