ロボット
FPDガラス基板搬送用のクリーンロボットは，垂直多関節形のMOTOMAN-CRシリーズ，水平多関節形のCSL/CSPシリーズ，水平多関節形で上下直動タイプのECHシリーズ，ダブルリンク式機構支柱のCDLシリーズで構成しています。高速･高精度搬送のほか，CDLシリーズは第10世代の超大形液晶ガラス基板搬送が可能，基板アライメントやレベル調整の付帯設備削減が可能です。また，超大形ガラス基板搬送用コンベアの搭載･旋回が可能なクリーン仕様ターンテーブルも製品化し，小形から超大形サイズの液晶ガラス基板搬送，生産性向上に対応できます。
仕様
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名称 MOTOMAN-CSL10 形式 YR-CSL10-A00 構造 水平多関節形（4自由度） 可搬質量 10kg 繰り返し位置決め精度*1 ±0.1mm 動
作
範
囲U軸（上下軸） 570mm S軸（第1アーム） ±175°
L軸（第2アーム） ±175° R軸（回転） ±300° 最
大
速
度U軸（上下軸） 400mm/s S軸（第1アーム） 3.05rad/s，175°/s L軸（第2アーム） 3.49rad/s，200°/s R軸（回転） 4.36rad/s，250°/s R軸許容慣性モーメント
(GD2/4)2.1kg･m2 本体質量 約110kg 設
置
環
境温度 0～+45℃ 湿度 20～80%RH（結露なきこと） 振動 4.9m/s2以下 その他 ･引火性及び腐食性ガス･液体がないこと
･水，油などがかからないこと
･電気的ノイズ源が近くにないこと
･ロボット据付面の平面度は0.5mm以下のこと電源容量*2 1.5kVA クリーン度*3 ISOクラス4 *1 JIS B8432に準拠しています。
*2 動作パターンにより異なります。
*3 クリーン度はISO規格に準拠しています。但し，風速0.4m/s以上のダウンフローのある環境で，ロボット内気吸引
ポートから機内を吸引した場合とし，ワーク搬送面よりも上の位置とします。
