ロボット
FPDガラス基板搬送用のクリーンロボットは，垂直多関節形の MOTOMAN-CRシリーズ，水平多関節形のCSL，CSPシリーズ，上下直動タイプで水平多関節形のECHシリーズ，ダブルリンク式機構支柱のCDLシリーズで構成しています。高速･高精度搬送のほか，CDLシリーズは第10世代の超大形液晶ガラス基板搬送が可能，基板アライメントやレベル調整の付帯設備削減が可能です。小形から超大形サイズの液晶ガラス基板搬送に対応できます。
外形（会員サービス）
| 機種名称 | 形式 | 図面番号 | 改版番号 | 外形図 |
|---|---|---|---|---|
| MOTOMAN-CSL10 | YR-CSL10-A00 | HW9181013 | REV. 0 |  348KB |
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