ロボット
FPDガラス基板搬送用のクリーンロボットは，垂直多関節形のMOTOMAN-CRシリーズ，水平多関節形のCSL/CSPシリーズ，水平多関節形で上下直動タイプのECHシリーズ，ダブルリンク式機構支柱のCDLシリーズで構成しています。高速･高精度搬送のほか，CDLシリーズは第10世代の超大形液晶ガラス基板搬送が可能，基板アライメントやレベル調整の付帯設備削減が可能です。また，超大形ガラス基板搬送用コンベアの搭載･旋回が可能なクリーン仕様ターンテーブルも製品化し，小形から超大形サイズの液晶ガラス基板搬送，生産性向上に対応できます。
適用事例･機種構成
適用事例
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ハードディスクのカセットへの移載事例 ･MOTOMAN-CR3X |
ハードディスクカセットの搬送事例 ･MOTOMAN-CR3X |
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ウエハカセットの搬送事例 ･MOTOMAN-CR3X |
液晶ガラス基板のアンパッカー＆カセットへの 移載事例 ･MOTOMAN-CR50 |
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液晶ガラス基板のカセット間移載事例 ･MOTOMAN-CSL15D |
液晶ガラス基板のプロセス処理装置への ロード/アンロード事例 ･MOTOMAN-CSL1200 |
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液晶ガラス基板搬送の事例 ･MOTOMAN-CSL1200D |
大形液晶ガラス基板のカセットからの 取り出し＆搬送事例 ･MOTOMAN-CSL2400D |
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第10世代超大形液晶ガラス基板の上下方向 超ロング搬送への適用事例（上昇/下降位置） ･MOTOMAN-CDL3000D-4000 |
