搬送・移載を高精度・低振動で実現!

半導体ウエハ搬送

半導体ウエハ搬送用のSEMISTARシリーズは、微細化、多層化など、進化を続ける半導体技術に貢献する製品をフルラインアップ。当社独自の設計技術で、ウエハへのダメージ低減など、更なる付加価値を提供します。

ラインアップ

半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズ大気環境用

製品ラインアップ 仕様 自由度/アーム方式 対応FOUP数

SEMISTAR-GEKKO MD124D

SEMISTAR-GEKKO MD124D 標準 5自由度/単腕 4FOUP

SEMISTAR-MU124D

SEMISTAR-MU124D 標準 5自由度/単腕 4FOUP

SEMISTAR-MU124DLZ CR

SEMISTAR-MU124DLZ CR 昇降軸ロングストローク 5自由度/単腕 4FOUP

半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズ真空環境用

製品ラインアップ 自由度/アーム方式 対応真空度

SEMISTAR-GEKKO VD31HDA

SEMISTAR-GEKKO VD31HDA 4自由度/単腕

SEMISTAR-GEKKO VD31HQF

SEMISTAR-GEKKO VD31HQF 4自由度/双腕

SEMISTAR-VS22LDS

SEMISTAR-VS22LDS 2自由度/単腕

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