MYVIS YV260

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特長

一度の画像取り込みで正確な位置合わせ

1回の位置修正動作で、目標精度まで追い込みます。

リトライ不要の位置決め(一発アライメント)

MYVISのアライメントプログラムはマシンの動き全体を考えています。
補正ステージサーボ軸の現在値を常時把握しています。
サーボ軸の現在値とマシンの機械座標系を基準とするキャリブレーションを行い、
回転中心位置を考慮した補正値計算を行うことにより、
画像認識と補正動作を1回行うだけで高精度な位置補正ができます。

基本的な位置決め計算

上図のように2個所の位置決めマーク座標を求め、サーボ軸の移動単位で計算を行います。
θ軸中心からの傾き修正を行い、基準点(目標位置)にマークを移動させます。
(例)
右図は左側のカメラ(カメラ1)の中心に左側のマークを合わせ込む処理を行っていますが、
マーク間の中心で処理する場合やカメラ4台での処理など、いろいろな組合せに対応できます。

画素サイズキャリブレーション
ステージ動作によってキャリブレーションマークを移動し、その移動量を基準として画素サイズとステージ軸に対するカメラ取り付け面の傾きを求めます。
回転中心キャリブレーション
ステージの回転動作によってキャリブレーションマークを移動し、2点の検出位置から、回転中心位置を求めます。

補正値の変化に注目!!

当社ショールームに展示しているアライメントデモ機の例を示します。
画素サイズ約20 μmながら、1回の認識と補正動作で2～3 μmレベルの位置補正を実演しています。
さらに精度アップが必要であれば、補正動作2回では1 μm以下まで追い込むことができます。

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